他根据光刻机工作原理和加工工艺的人难易,将工作分配到了项目各个小组,最后给自己留了物镜和工作台加工两个活儿。
光刻机物镜特点是直径大、镜片多、镜片可动,镜面光洁度非常高,要求达到原子级别的平坦。
直径一米,十五片原子级别平坦的镜面制作耗费了子慕半个月的时间。
光刻机双工作台由两个工件台组成, 两个工件台同时独立工作,负责完成步进运动、曝光扫描、对准扫描、上下硅片等功能。
要求速度快、对准精度高、运动稳定,对配件的精度需要光栅尺来计量,幸亏子慕有显微眼功能,否则还真达不到要求。
可能子慕是完成进度最慢的了,等子慕将自己负责的工作台完成后,落实进度的时候大家都完成了。
有总装图、有透视眼、有显微功能,应该在装配的过程中没有一点问题吧。可就是这,子慕装了一天一夜的时间,才完成了整机装配,等到试车合格后,他已经累的睁不开双眼一头睡了过去,十几个小时以后才醒。
就在大家高兴地庆祝成功的时候,子慕才慢慢思考光刻机制造过程中的问题。
镜面的制造目前实现量产的可能几乎为零。双工作台的制造虽然可以量产,但是材料却很难得,组装起来也很困难,几乎达到了目前制造技术的极限。
看来以后的路好很长,尤其是基础材料这一块,还需要有大的突破,宁钢需要走的路更长。
不过这次制造光刻机,虽然很辛苦,但受到的启发也不少,主要的是有了这台光刻机,让下一步工作有了基础,等新型芯片出来以后,超脑在雏凤的等级上就又可以有进一步的提升了。
反过来超脑等级的提升又可以将设计制造往前推一步了。
想想都头疼,忽然想喝酒了。